上海節(jié)能技術(shù)展關(guān)注到歐洲于今年6月啟動了一項總投資達6380萬美元的重大科研計劃"GENESIS"，該計劃由法國研究機構(gòu)CEA-Leti牽頭，旨在從根本上改善歐洲半導體產(chǎn)業(yè)的環(huán)境足跡。這項為期三年的計劃集結(jié)了來自歐洲半導體領(lǐng)域的58個成員單位，包括大型企業(yè)、中小企業(yè)、研究機構(gòu)和高等院校，共同致力于半導體制造過程的綠色技術(shù)突破。

實時排放追蹤與先進監(jiān)測技術(shù)

GENESIS計劃針對芯片制造的五個關(guān)鍵階段制定了全面的技術(shù)發(fā)展路線圖，涵蓋材料開發(fā)、化學制程、廢棄物監(jiān)測和處理、氣體排放控制以及最終廢棄物處理。該計劃的核心創(chuàng)新之一是開發(fā)實時排放追蹤系統(tǒng)，通過先進的制程監(jiān)控和傳感技術(shù)，使制造商能夠在生產(chǎn)過程中即時發(fā)現(xiàn)環(huán)境沖擊，而非傳統(tǒng)的事后檢測方式。

這項實時監(jiān)測技術(shù)整合了高精度傳感器和數(shù)據(jù)分析算法，能夠?qū)ιa(chǎn)過程中的氣體排放、化學品消耗和能源使用進行毫秒級監(jiān)控。通過建立數(shù)字孿生模型，系統(tǒng)可以預測潛在的環(huán)境風險并提供優(yōu)化建議，從而實現(xiàn)從被動治理到主動預防的轉(zhuǎn)變。

廢棄物資源化與化學品替代創(chuàng)新

減少廢棄物是GENESIS計劃的另一優(yōu)先課題。研究團隊正在開發(fā)先進的回收系統(tǒng)，針對通常被丟棄的溶劑、氣體和研磨液進行資源化利用。新型回收技術(shù)采用分子級分離和純化工藝，能夠?qū)⑹褂眠^的化學品恢復到半導體級純度，實現(xiàn)閉環(huán)循環(huán)使用。

在材料創(chuàng)新方面，計劃致力于開發(fā)全氟/多氟烷基物質(zhì)（PFAS）的替代品，并降低材料的全球變暖潛能值（GWP）。研究團隊通過計算材料科學和綠色化學原理，設(shè)計新型環(huán)保化學品，在保持性能的同時顯著降低對環(huán)境的影響。這些創(chuàng)新將有效改善半導體制造中一些最具挑戰(zhàn)性的工藝環(huán)節(jié)的環(huán)境表現(xiàn)。

關(guān)鍵原材料替代與供應鏈韌性

GENESIS計劃還著力解決歐洲在關(guān)鍵原材料方面的供應鏈脆弱性問題。通過材料創(chuàng)新和工藝優(yōu)化，研發(fā)團隊正在開發(fā)減少對稀缺原材料依賴的技術(shù)方案。具體措施包括開發(fā)新型半導體材料、提高材料利用效率，以及探索基于豐富元素的替代材料體系。

這些技術(shù)突破將顯著增強歐洲半導體供應鏈的韌性和可持續(xù)性。通過建立多元化的材料供應體系和循環(huán)利用模式，計劃旨在降低地緣政治風險和市場價格波動對產(chǎn)業(yè)的影響。

技術(shù)成果與產(chǎn)業(yè)影響

據(jù)CEA-Leti可持續(xù)電子項目主任兼計劃負責人Laurent Pain介紹，GENESIS計劃預計將推出約45項創(chuàng)新技術(shù)成果，涵蓋從材料到制造的全產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)。這些技術(shù)成果將共同提高整個半導體芯片價值鏈的可持續(xù)性表現(xiàn)。

隨著芯片在人工智能系統(tǒng)、清潔能源技術(shù)等各個領(lǐng)域的廣泛應用，半導體制造的環(huán)境表現(xiàn)正受到日益嚴格的審查。上海節(jié)能技術(shù)展了解到GENESIS計劃的技術(shù)創(chuàng)新將為全球半導體產(chǎn)業(yè)提供可行的綠色發(fā)展路徑，推動行業(yè)向更加環(huán)保、高效的方向轉(zhuǎn)型。這項計劃的成功實施，不僅將鞏固歐洲在半導體技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位，也將為全球電子產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展樹立新的標桿。

來源：產(chǎn)業(yè)永續(xù)發(fā)展整合資訊網(wǎng)

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