在推動(dòng)制造業(yè)綠色升級(jí)的背景下，上海綠色制造展了解到國立清華大學(xué)動(dòng)力機(jī)械工程學(xué)系教授李明蒼團(tuán)隊(duì)在國科會(huì)支持下，成功開發(fā)出具有突破性的"激光低碳制造技術(shù)"，為光電半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供了全新的綠色制造解決方案。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)不僅顯著優(yōu)化了制程效率，更在能耗降低和碳減排方面展現(xiàn)出卓越表現(xiàn)。

技術(shù)突破：從多道工序到一次完成

研究團(tuán)隊(duì)匯集了清華大學(xué)、臺(tái)灣大學(xué)及國家儀器科技研究中心等多方力量，專長(zhǎng)覆蓋激光加工、機(jī)械力學(xué)、人工智能、化工材料、光學(xué)及光機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)整合等領(lǐng)域。經(jīng)過密切合作，團(tuán)隊(duì)成功開發(fā)出適用于"金屬薄膜"及"透明導(dǎo)電薄膜"圖樣化鍍膜的專利技術(shù)。

該技術(shù)的核心突破在于，將原本需要多道工序的制程縮減為一次工序即可完成圖樣化。團(tuán)隊(duì)開發(fā)的激光鍍膜及圖樣化技術(shù)可在常壓常溫環(huán)境下進(jìn)行，這一特性使得制程所造成的能源消耗及碳排放大幅降低。經(jīng)精確測(cè)量統(tǒng)計(jì)，該技術(shù)能使能耗降低約50%，為高耗能的光電半導(dǎo)體制造業(yè)提供了切實(shí)可行的減碳路徑。

應(yīng)用前景：覆蓋多元?jiǎng)?chuàng)新領(lǐng)域

這項(xiàng)激光低碳制造技術(shù)的應(yīng)用范圍極為廣泛，涵蓋了多個(gè)極具市場(chǎng)前景的領(lǐng)域。在研究團(tuán)隊(duì)看來，該技術(shù)可用于三維電子半導(dǎo)體元件、軟性光電半導(dǎo)體元件及硅光子元件等高端產(chǎn)品的制造。具體而言，包括透明顯示裝置、溫控光學(xué)鏡片以及精準(zhǔn)健康醫(yī)療用的個(gè)人化穿戴式裝置等創(chuàng)新產(chǎn)品都將從中受益。

特別值得關(guān)注的是，團(tuán)隊(duì)開發(fā)完成的鍍膜材料與制程所制作的金屬微細(xì)導(dǎo)線電阻率，已經(jīng)達(dá)到甚至優(yōu)于其他相似制程的水平。同時(shí)，透明金屬氧化物導(dǎo)電膜的光電性質(zhì)也已完全達(dá)到商用水準(zhǔn)，這為技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

綠色優(yōu)勢(shì)：環(huán)保與智能并重

該技術(shù)不僅在性能上表現(xiàn)出色，在環(huán)保方面也同樣具有顯著優(yōu)勢(shì)。研究團(tuán)隊(duì)采用了對(duì)生物環(huán)境較為友善的溶劑與還原劑作為反應(yīng)溶液，體現(xiàn)了綠色制程的核心理念。此外，將團(tuán)隊(duì)開發(fā)的技術(shù)與智能化的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)技術(shù)相結(jié)合，還可用于線路或元件的修復(fù)功能，這將進(jìn)一步降低光電半導(dǎo)體與印刷電子制造產(chǎn)業(yè)的總體制造成本與碳排放。

產(chǎn)業(yè)影響：助推半導(dǎo)體業(yè)可持續(xù)發(fā)展

半導(dǎo)體、光學(xué)、電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈作為重要的產(chǎn)業(yè)支柱，其環(huán)境永續(xù)發(fā)展已成為全球關(guān)注的重要議題。先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)的低碳化、凈零排放更是當(dāng)前面臨的迫切挑戰(zhàn)。在這一背景下，激光低碳制造技術(shù)的創(chuàng)新研發(fā)不僅為產(chǎn)業(yè)綠色轉(zhuǎn)型提供了技術(shù)支撐，更將帶動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展。

研究團(tuán)隊(duì)表示，將繼續(xù)探索創(chuàng)新低碳與智慧化加工技術(shù)的藍(lán)海領(lǐng)域，為產(chǎn)業(yè)群的永續(xù)及綠色制造注入持續(xù)活力。這項(xiàng)技術(shù)的成功開發(fā)，標(biāo)志著在精密制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重要突破，將為全球光電半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向綠色制造新時(shí)代提供強(qiáng)有力的技術(shù)支撐。

隨著全球?qū)μ寂欧诺囊笕找鎳?yán)格，上海綠色制造展這項(xiàng)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的低碳制造技術(shù)，不僅有助于提升產(chǎn)業(yè)的技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力，更將在全球綠色制造浪潮中占據(jù)重要位置，為實(shí)現(xiàn)制造業(yè)可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)作出積極貢獻(xiàn)。

來源：IEK產(chǎn)業(yè)情報(bào)網(wǎng)

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